浅谈硅片承载器

硅片承载器是什么高科技吗？硅片承载器其实也称之为花篮 ，说白了硅片承载器就是一个载具，硅片承载器的出现也是为了适应国内外光伏行业的需求。例如太阳能硅片承载器能够满足半导体及太阳能硅片的各种生产工艺和要求。

承载器被钩入一个晶片笼，然后这个笼子被水的液压放入到容器中并且用一个盖子密封起来。

容器中安装有几个水和气的喷嘴（功能图如下所示）。对于去离子水和压缩空气两种介质，低压喷嘴（可达2bar）和高压喷嘴（可达6bar）都是可用的。在晶片笼旋转清洗的过程中要使用去离子水和压缩空气。这样是为了确保承载器的所有部位都被去离子水均匀喷涂。然后，使用无菌空气风干晶片，最后会使用红外线灯风干。

可使用的阀门：

盖米600隔膜阀控制了去离子水的主要供给装置。在这里，通过多通道阀组，去离子水被分配到容器中的各个喷嘴中。去离子水的温度为60°C。

无菌热空气（大约60°C）通过盖米554角座阀被送入装置中，并且也被多通道阀组转移到相应的扩散器中。这个过程是和用去离子水清洗同步执行的。

再生的废气通过盖米451蝶阀排放。随后产生的凝聚物通过盖米610隔膜阀排放。

一个带有电子位置指示器的盖米410蝶阀在用过的去离子水这里起到排水阀的作用。